微污染控制　　

　　微污染控制 洁净室洁净程度的维持和控制，除了硬件设备配合投资外，也需要良好的软件--

管理制度来配合，方能维持良好的洁净度。半导体洁净室内的微污染来源，经测试分析结果，作

业人员占约80％，如图8-1所示。实验数据显示，作业人员进出洁净室时尘埃有显著的增加，有人

动作时，洁净度马上劣化，可见洁净度劣化之原因，人是主要因素。

　　洁净室运转管理 洁净室运转管理，可依作业人员、原物料、设备及洁净室内所用东西等加以

探讨，并依计划（Planning）、实施（Doing）、追踪（Checking）、动作（Action）之PDCA循环

步骤执行。

（一）． 作业人员之管理 前已提及在洁净室内污染来源80％来自作业人员，因此若能使
作业人员依洁净室管理办法确实执行管理，而所有人员也均能配合实施，则污染源的产生可说已
减少大半。现就进入洁净室的作业人员管理和注意说明如下：

（1）进入洁净室之人员，必须要具备有达成高洁净度标准，并要维持最好状态的观念。

（2）作业人员进入洁净室数目以维持最小限度为原则（愈小愈好），并须依洁净室进出标准流程进出洁净室，如图8-3所示。出则相反方向进行，唯不须经空气洗尘室脱尘处理。